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洁净车间的洁净度具体尺度

发布日期:2021-1-12 10:58:39 拜候次数:121

洁净车间空气洁净度分级尺度:ISO14644-1(国际尺度)

空气洁净
度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子浓度限值(个/每立方米空气粒子)
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1.0um 5.0um
ISO Class1 10 2
ISO Class2 100 24 10 4
ISO Class3 1,000 237 102 35 8
ISO Class4 10,000 2,370 1,020 352 83
ISO Class5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO Class6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO Class7 352,000 83,200 2,930
ISO Class8 3,520,000 832,000 29,300
ISO Class9 35,200,000 8,320,000 293,000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级程度

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